федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования
«Самарский национальный исследовательский университет имени академика С.П. Королева»

    Способ создания капиллярных структур на поверхности кремниевых подложек с использованием метода лазерной записи

    Год: 2023
    Авторы: Агафонов А.Н. Тукмаков К.Н. Миланина К.И. Платонов В.И. Андреев Т.А.
    № патента:
    Приоритет заявки: 2023-10-27
    Дата публикации: