федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования
«Самарский национальный исследовательский университет имени академика С.П. Королева»

Устройство бесконтактного контроля электромагнитных параментров тонких пленок, нанесенных на подложку конечной толщины

Год: 2018
Авторы: Борминский С.А. Скворцов Б.В. Живоносновская Д.М.
№ патента: 185095
Приоритет заявки: 2018-07-17
Дата публикации: 2018-11-21