RU 
EN 
CN 
ES 
федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования
«Самарский национальный исследовательский университет имени академика С.П. Королева»
Отчеты о важных мероприятиях и событиях
Способ измерения чистоты подложек
| Год: 2009 |
| Авторы: Колпаков А.И. Казанский Н.Л. Колпаков В.А. Сойфер В.А. Подлипнов В.В. |
| № патента: |
| Приоритет заявки: 2009-03-25 |
| Дата публикации: |
